二手 TEL / TOKYO ELECTRON 20SR #9132501 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON 20SR是一種用於在生產環境中自動探測晶片的prober。用於執行與半導體生產相關的關鍵步驟。TEL 20SR配備了精密高效晶圓探測的先進技術。TOKYO ELECTRON 20 SR有一個光學對準設備,與一個電動級結合工作,使晶片精確對準指定的位置。這種高效、精確的對準系統在3個σ內實現了15微米的探測精度。該級由高性能控制器驅動,該控制器可實現快速、精確的XY和Z運動,從而提高晶圓的定位精度和可重復性。TEL/TOKYO ELECTRON 20 SR也有一個自動探針單元,旨在提供高探針精度和穩定性。此機器由安裝在探頭床周圍的多個傳感器組成,用於檢測和識別探頭尖端。單軸運動控制工具用於控制探針與樣品接觸時的針腳,以確保精確的探測。20 SR還配備了集成真空測量資產和多點電壓監控模型。真空測量設備在探測操作過程中監測和記錄前室的真空水平。多點電壓監控系統在一個測量周期內監控所有引腳的電壓,使用戶能夠檢測到任何電壓異常。20SR還可以配置多源RF單元、厚晶圓套件等各種附件,以增強功能並提高性能。TEL 20 SR具有集成的設計和可配置性,可用於在生產環境中快速準確地探測各種晶片,提高半導體產品的產量和可靠性。
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