二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293618550 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL prober是半導體製造工業中使用的精密工具,有助於確保半導體晶圓的性能和可靠性。Prober使用利用3級溫度控制系統的操作設備,帶有三個獨立的溫度傳感器,在大面積的晶圓上提供高精度和精確度。該單元還具有1000mm x 800mm的大可用面積,允許探頭在進一步處理晶片之前檢查和識別晶片上的任何潛在缺陷和不規則性。TEL P12XL prober配備了高精度的舞臺控制和準確度,以確保缺陷識別和測量在廣域內的準確度,而不會出現任何錯位。具有XY、UV、五軸級掃描和過程控制,XY-Drive位置重復性為0.01µm,Z-Drive位置重復性為0.001µm。此外,螺旋槳在大面積上的位置精度為± 0.01mm,對於缺陷映射至關重要。TOKYO ELECTRON P 12 XL prober也有先進的自動缺陷識別和修復實時追蹤機。此工具可利用硬件和軟件損壞識別、2D激光和3D掃描以及高分辨率成像資產,快速檢測缺陷。這樣可以確保快速準確地識別晶片上發現的任何缺陷,從而使用戶能夠對任何缺陷條件或不規則性快速做出反應。TEL P-12 XL prober是半導體制造工藝的理想工具,提供高精度和精確度,以保證半導體晶片的可靠性和性能。利用先進的實時跟蹤模型和精密級控制,P-12 XL prober能夠快速準確地檢測和識別任何潛在缺陷,成為確保半導體制造質量控制的寶貴工具。
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