二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293816006 待售
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ID: 293816006
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Prober, 8"-12"
(2) Pincettes
(2) Front Opening Unified Pods (FOUP)
D250 Chiller
System Host (SH) communication error
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL是一個滿足設計和生產試驗應用要求的半導體晶圓探測站。TEL P12XL具有高速、兩軸電動螺旋槳、電動晶片卡盤和剛性構造的臺式框架。Prober可自動探測多達25 x 25 mm的探針卡,並且在Prober臂的末端有高達10 mm的變薄。精密空氣軸承提供探頭的平滑運動,步進電機驅動的旋轉級允許精確定位在0.05度以內的樣品。TOKYO ELECTRON P 12 XL裝有10步晶片卡盤，尺寸可達200毫米晶圓，尺寸可降至150毫米晶圓。采用鈦合金連桿臂降低高速掃描過程中的串擾和穩定性。TEL P 12 XL可容納最多四個帶有碎片管理系統的探測卡,並且能夠支持高達180攝氏度的高溫環境。集成CCD變焦顯微鏡可提供高達200X的放大倍率，並提供可變的臺式傾斜，以改善探針卡對準。此外,TEL P-12 XL還可以通過可選的附件（如氧氣傳感系統、背面冷卻、電動樣品級和超壓系統）量身定制,以滿足特定的行業要求。TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XL以前所未有的精確度和性能為晶圓級模具和器件的測試提供了時間和成本效益。
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