二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293828518 待售
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ID: 293828518
晶圓大小: 8"-12"
Prober, 8"-12"
Type: Fully automatic
Applications: Wafer-level parametric, functional, and reliability testing
Wafer chuck: Precision vacuum chuck with optional temperature control
Chuck temperature range: -60°C to +200°C
Motion system: Precision X-Y-Z-θ servo-controlled positioning
Positioning accuracy: ±1 µm (X/Y)
Z-Axis accuracy: ±0.5 µm
Alignment: Automatic wafer mapping with optical pattern recognition
Probe interface: Compatible with parametric and functional probe card test heads
Control system: Fully automatic operation with integrated wafer mapping and probe alignment
Utilities: Clean dry air (0.5-0.7 MPa) and vacuum
Power supply: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 1.5–2.5 kVA.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL prober是一種專業級測試裝置，設計用於進行高級表面分析。主要用於半導體生產、材料分析、半導體器件測試和封裝。TEL P12XL包括一個用於COT封裝的空氣軸承模具砂器,可快速初始放置,精度± 0.25um。垂直驅動運動技術確保穩定準確的定位。這對於低k電介質分析樣品尤其重要，這需要精確和重復的對準。TOKYO ELECTRON P 12 XL還具有TEL優化的負載框架,可提供一流的力-電壓-電流（FVC）表征能力。它能夠對設備進行快速、精確、長期的可靠性測試。5軸系統提供了比傳統3軸探針更大的定位靈活性和抗振性。通用P12XL能夠進行各種類型的電氣測試。在其它測試中，它可以進行頂端電阻率和電阻測試、浮基電阻率、小尺寸（SFF）測試、短間隔熱循環和瞬態熱測試。TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL還附有一個光學顯微鏡，方便接近和局部非接觸成像（LN2I）。除了先進的測試能力外,P 12 XL在速度和準確性方面都有顯著的改進。它的掃描場允許高速、高精度（<0.1um精度）的模具放置。另外一個安全功能允許操作員暫停並驗證測試之間的結果。這對於更長的測試周期特別有用。TOKYO ELECTRON P12XL的整體設計較之前的型號有所改進。增強的機構即使在高振動環境中也能提高穩定性和耐用性。堅固的結構確保了一致和可靠的測試結果。最後，微控制器結構可以提高精度，即使安裝在不穩定的臺階上也是如此。總之，TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XL是一款多功能、高性能的prober，提供了極大的精度、速度和可靠性。它是高級曲面分析的理想選擇,為操作員提供可靠可靠的測試結果.
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