二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9102643 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Prober是半導體工業中使用的通用可靠的自動化檢測設備。它旨在提供對半導體器件晶片、圖案化晶片和掩模階梯狀表面以及封裝鉛框架的精確測量。該螺旋槳有一個大的風冷X-Y-Z級和兩個用於支撐和定位晶圓、掩模或鉛架的旋轉電動卡盤。X-Y-Z級為X軸和Y軸的定位提供了受控的精確運動,其範圍可達2mm,Z軸的高分辨率為0.1µm。Prober還配備了可選的視覺對準設備,用於將基板精確加載到prober階段。為了確保可靠和可重復的測量,TEL P12XL Prober配備了高分辨率隔振系統,以降低外部振動和溫度對prober結果精度的影響。Prober還包括一個完全校準的旋轉單元,高精度角度可重復性為0.007}。此外,prober還配備了位置穩定性監視器,在測量周期中提供有關prober穩定性的反饋並實現自動維護。為了最大限度地減少停機時間並實現設備測試的高效自動化,TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober提供了一整套高級控制和監控功能。Prober包括一個內置診斷程序的集成監視單元,允許用戶持續監視和管理其prober性能。例如,機器可以檢測任何異常的機器運動、溫度變化、真空或氣流,並提供糾正作用。Prober上的控制工具還提供了可視化平臺,供用戶控制和監控操作。用戶可以通過圖形用戶界面設置多個作業和程序,允許復雜的檢查和測量例程。最後,TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober是為過程的靈活性和可靠性而打造的,包括一系列可根據需要納入的清潔和處理選項。Prober旨在提供長期可靠和經濟的性能,使其成為任何尋求可靠和生產性檢驗工具的半導體制造商的理想選擇。
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