二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #293804668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLm是一種晶片prober，設計用於直徑達300 mm的大型晶片。利用TEL Prober控制設備（PCS）技術提供精確、穩定的晶圓探測性能。這種晶片探針的創建是為了以高精度和高速度分析晶片及其組成部件，並便於觀察其物理和電氣特性。TEL P12XLM采用了先進的寬範圍雙傳感器系統，旨在實現超精確定位和高速映射。雙傳感器單元具有高精度光學機器和高速電容傳感工具。光學資產測量晶片位置，範圍為0.3 μ m，最大晶片可重復性為0.15 μ m。電容模型感測晶圓位置，範圍為0.05 μ m，可重復性為0.02 μ m。兩個傳感系統合計提供0.25 μ m的總射程和0.08 μ m的精度。TOKYO ELECTRON P 12 XLM還具有先進的自動調平和調平控制能力，可提供準確高效的晶圓探測。晶圓箱裝卸設備還允許在探測前預先對準晶圓，以及高效的晶圓卸載/裝載。此外，P-12 XLM提供了廣泛的計量選項，包括激光顯微鏡和OBIRCH聚類能力。OBIRCH聚類能力在映射與地形參數相關的物理缺陷（如高度和入射角）時允許高度的精度和速度。P 12 XLM采用開放式架構設計構建，允許將各種各樣的控制和測量外圍設備整合到系統中，包括源、探測器、測試儀和各種分析工具。這確保了適應各種生產環境的高度靈活性。總體而言,P-12XLm是一種先進、準確且適應性強的晶片處理器,專為大型晶片而設計。它利用先進的傳感和自動調平技術，以及提供廣泛的計量選擇，以促進對晶片及其組成部分的有效分析。