二手 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #9039946 待售
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已售出
ID: 9039946
Automated wafer prober, 12"
Degree range: 50º - 150º
PSAS (Precio Standard Application Software)
Single Foup - Right Loader
Auto Alignment System (probe, wafer)
Chuck Camera Unit (ASU-Ⅱ)
Bridge Camera Unit (BCU-Ⅱ)
Signal Tower
Real Time Wafer Map System
Inspection System (Auto/Manual, Probe)
T2000LS HF Kit – 440mm Pogo Interface – Hinge: HM100L
Chuck Discharge Kit
Hot Chuck (Cu/Au)
ASU
GPIB Interface (w/ 4m cable)
Flip SACC w/ (Φ350)
WAPP (pearl brush)
Plate assy. Ceramic WAPP
Switch Probe
Remote Operation Setup for prober
Includes:
Main body
Loader unit assy
Alarm monitor
T/H frame assy
Card holder assy
Accessories
Cable clamp
Currently de-installed
2011 vintage.
TEL是一個prober，或探測系統，用於測量半導體器件的電氣特性。它是用於評估設備在設計和制造過程中的電氣性能的工具。它提供了一個準確和公正的評估，可追溯到半導體器件被測試。TOKYO ELECTRON PROBERS enable a range of electrical measurements, include電阻,電感,電容,和transempedance.為了獲得這一數據，Prober使用了四種最小二乘二次算法，這些算法被耦合到被測試器件表面的一系列交叉電極上。它還包括一個掃描電子顯微鏡，它允許在高放大倍數成像設備表面。探頭還能夠測量各種復雜的測量，如柵極氧化物厚度、通道長度、泄漏電流、柵極閾值電壓、接入時間等的電氣特性。也可用於測量晶體管的介電擊穿電壓和電流電壓特性。此外，它還可以測量MCMs（多芯片模塊）的電容。TEL/TOKYO ELECTRON構建為用戶友好和健壯。它具有直觀的圖形用戶界面（GUI）、全面的學習系統和集成的自動化工具。這有助於簡化用戶的測量，同時確保準確可靠地進行測量。TEL可從各種供應商處獲得,價格從$250,000到$2,500,000不等,具體取決於選定的型號和功能。該系統專為大型制造操作而設計,還提供各種定制選項,使用戶可以根據自己的特定需求定制產品。
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