二手 TELEDYNE TAC HAS-500 #293658709 待售
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TELEDYNE TAC HAS-500是一種用於測試用於制造半導體器件的晶片的探測器。這種自動晶片探測站采用先進的設計,具有極高精度的X-Y表,用於將晶片精確地放置在壓板上,以及用於晶片與探針精確接觸的高精度Z軸。它還有一個高速TELEDYNE多區加熱器設備,允許精確的樣品溫度全場均勻溫度控制,對環境溫度變化的均勻性影響不大。TAC HAS-500能夠提供具有卓越質量控制的高速自動晶圓探測。它具有檢測和收集數據以便快速進行過程中的測量的能力,提供高度可靠的結果。探測站采用高精度電動機驅動系統,最小行程範圍為± 10微米。它還可以處理各種長寬比高達1:9的基材形狀。TAC TELEDYNE TAC HAS-500還配備了高分辨率數字顯微鏡單元(DMS)和900萬像素數碼相機,用戶可以在整個晶圓表面進行精確測量。它還具有嵌入式自動定位機(APS),用於檢測基準標記中的坐標並精確控制晶片在平板上的定位,以及4點或6點手動對準功能。該站還包括一個電動調節工具,快速補償基板厚度的變化。此外,TAC HAS-500與6軸機械手集成在一起,該機械手利用空氣軸承實現探頭的高精度移動,以實現自動對準和可重復的快速拾取操作。它還采用內置的自動晶圓映射資產進行設計,提供快速存儲和回憶先前定義的晶圓映射的能力。該站還包括一個完全集成的數據采集模型,使晶圓探測過程中捕獲的數據能夠與每個數據集的參數數據庫合並。總體而言,TELEDYNE TAC HAS-500是一個先進和可靠的晶圓探測站,旨在為準確測試和探測鉛架和其他基板設備提供高效的解決方案。其高精度的定位設備和強大的能力使其能夠滿足生產先進半導體器件的各種大批量、高通量工藝的需求。
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