二手 VEECO / DEKTAK AP 150 #9228646 待售

VEECO/DEKTAK AP 150是一種通用的高精度、便攜式表面剖面儀,能夠測量半導體加工和器件計量的步高至1納米米。它具有增強的靈敏度和先進的功能,可用於芯片級檢測器互連、凸起和翻轉芯片計量學的無損表面測量和分析操作。VEECO AP 150配備了一個遠程中心變焦鏡頭，能夠精確測量特征邊緣、階梯高度和其他表面地形參數。其較大的電信中心變焦範圍使其能夠對總高度低至1nm的特征進行成像和測量DEKTAK AP 150利用兩個垂直和一個水平掃描軸提供最大圖像場寬度為250 mm的大工作距離。此外,它還配備了180 nm垂直和0.75 nm水平分辨率,並配備了1.5 mm/秒的最大掃描速度。它還帶有USB端口通信系統,可以連接到外部顯示器進行顯示。AP 150用於晶圓和半導體芯片的計量以及多層器件表征，能夠測量各種基板上的納米級特征和結構。這使得它可以用於MEMS和微電子設計等多種應用。它也適用於亞微米表面的測量、掃描電子顯微鏡（SEM）應用和掃描探針顯微鏡（SPM）。該設備還提供了增強的性能功能,如可重復測量、藍色照明、非接觸式樣品確定以及通過自動濾鏡控制的長期穩定性。此外，非接觸式樣品選擇系統可以防止表面汙染造成的掃描工件。此外，它還與各種真空傳輸和加載系統兼容，以擴大其應用範圍。簡而言之,VEECO/DEKTAK AP 150是精確計量和無損表面剖析的可靠、準確和通用的選項。它提供了強大的功能組合,使其成為晶圓計量、半導體器件表征、MEMS和微電子設計等領域廣泛應用的理想選擇。