二手 VEECO FPP 5000 #155579 待售
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ID: 155579
Four point system with probe head
Features:
Compact integral probe and display
Resistivity: 450k ohm/sq
Resolution: .001 milliohm/SQ
0.5% High accuracy
Index substrate holder
Integral RFI and light shielding for high resistivity measurements
Back lit front panel
Selectable displays:
Sheet and bulk resistivity
V/I
Thickness in, A, MILS, or microns of a slice or layer with bulk resistivity
Geometric correction range:
Selectable baud rate: 9600, 4800, 2400, 1200, 300, 150
Output: 25 Pin female subminiature "D" connector
Hand held probe head:
Testing wafers over 6" in diameter
Includes 6' cable
Electrical specifications:
Power: 115/230 VAC +/- 10%, 50/60 Hz, 30 W.
VEECO/DEKTAK FPP 5000是一款用途廣泛、功能強大的處理器,旨在實現設備電氣特性的精確測量。它用於多種設置，包括在制造過程中測試晶片以及在研發過程中測量電氣連通性。VEECO FPP 5000配備了光學和接觸掃描設備,能夠準確探測接觸和非接觸特性。它具有一個三軸掃描系統，可以為各種應用高精度探測樣品。該單元由具有旋轉平臺的電動級驅動，該旋轉平臺可以沿垂直方向和X-Y平面移動樣品。該機配備了6軸閉環伺服工具，可以檢測和校正樣品位置的誤差，以確保精確的結果。該資產還具有依賴於尺度的空氣緩沖真空吸盤，以保持樣品穩定。此功能通過消除測量應用中的任何潛在基板漂移來提高設備的精度。單個探頭組件采用線性執行器來精確測量樣品。DEKTAK FPP-5000配備了嵌入在模型中的高精度表面自相關器（HASC），以實現先進的非接觸精度。該工具測量樣品的半螺距、圖樣方向和CD均勻性，精度很高。該設備還具有自動晶片聚焦功能，可快速將樣品帶入成像平面，提高精度。個別探頭配有輸入/輸出濾波器，以保護樣品免受射頻幹擾。此功能允許跨頻率掃描,同時仍能獲得準確的結果。VEECO FPP-5000還附帶了功能強大的用戶界面軟件,該軟件可配置為適合各種應用程序。此軟件旨在提供對系統的安全訪問,確保只有經授權的人員才能監視或修改設置。DEKTAK FPP 5000是需要精確樣品探測和測量的應用的理想解決方案。其先進的功能使其適合在各種設置中使用，例如制造和研發，使用戶能夠獲得關於設備特性的高質量數據。
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