二手 AMAT / APPLIED MATERIALS A100L IPUP #9255606 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS A100L IPUP是一種旋轉動力離心真空泵,旨在為半導體加工工具提供真空條件。泵類似於渦輪泵，或Turbomolecular Pump，然而，它不是利用渦輪機，而是使用同軸轉子來創造必要的真空。轉子由兩個轉子組成；封裝在第二個定子內的外部驅動轉子。轉子由外部電動機驅動產生內部反應。定子由幾個定義的不對稱葉片組成，這些葉片的排列方式可以減少兩個轉子產生的環面中的氣流量。葉片還減少了由於空氣湍流和誘捕造成的阻力。這種配置導致更高的極限壓力、更低的振動水平和更安靜的操作。AMAT A100L IPUP是一種油封機械泵,具有獨特的內部幾何形狀,旨在最大程度地提高泵送速度並最大程度地減少磨損。轉子由不銹鋼制成，塗有防腐蝕材料。定子通常由金屬合金如鎳制成。泵還配備了熱保護系統，以防止其過熱。APPLIED MATERIALS A100L IPUP能夠產生1 x 10-3至1 x 10-5 Torr的真空範圍,在海平面的抽水速度為3.4立方米/小時。它設計用於可在115V或400V運行的框架安裝馬達。電機具有可調制動器，並帶有5年保修期，確保長時間可靠運行。A100L IPUP具有提供可靠真空源的能力，是各種半導體工藝的理想解決方案。它特別適合於離子註入和物理氣相沈積等過程。該泵還設備齊全，可提供其他行業的真空源，如醫療、研究和工業應用。AMAT/APPLIED MATERIALS A100L IPUP是任何需要真空源的工業或實驗室環境的寶貴設備。