二手 BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 #9129480 待售

中銀愛德華茲iH1800 NRV MK5是中銀愛德華茲設計制造的堅固可靠的原子層沈積泵。它采用創新技術,提供一致的合規性和可靠的層厚度輪廓。它專為要求苛刻的應用和工藝而設計，無論是聚合物、金屬還是電介質。首先,此泵采用集成的自動自動充電NRV（負電阻閥）,可自動調節速度、壓力和降低霧氣。這樣可以在操作人員幹預最少的情況下精確控制過程參數，同時最大限度地減少由於大氣壓力影響造成的損失。NRV系統設計用於在工藝條件波動的情況下實現均勻一致的層覆蓋。iH1800泵還包括一個直接的低真空機械前泵。這允許相對較快的泵送時間，同時為上遊過程提供清潔的進氣口。機械前泵的額定功率為25 Pa,如果需要,可以安裝離心鼓風機。根據應用情況，它能夠容納各種不同的氣體種類。此外，iH1800 NRV MK5提供一流的真空控制，使過程可以重復，獨立於大氣壓力和水分或其他可冷凝物質的存在。這是通過各向異性電輔助閘閥（EAGV）技術實現的。與傳統的閘閥相比，它能夠進行多達500萬次的開放式閉合操作，使用壽命得到改善。最後,此泵的設計和認證考慮了安全性和可靠性.它是由高品質的材料，提供耐久性和耐腐蝕。內部可輕松組裝拆卸，維護要求低。它有一個高度可靠的混合電子系統，有助於消除因泵故障而導致的運行停機。總之，中銀EDWARDS iH1800 NRV MK5泵是一種有效、可靠的泵送技術，適用於要求苛刻的ALD工藝。