二手 BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-301CVB3 #9261012 待售

BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-301CVB3
ID: 9261012
Turbo pump.
BOC EDWARDS/SEIKO SEIKI STP-301CVB3是一種可靠、緊湊的半導體加工泵。它以30升/分鐘的高抽水速度、760 Torr的最大兩級初級壓力、1 x 10-4 Torr的高極限壓力設計。泵能提供低分壓氣體,適用於各種半導體工藝。BOC EDWARDS STP-301CVB3采用堅固的設計,帶有不銹鋼外殼,安裝在無振動平臺上。標準的齒輪和潤滑油保證了長期的泵的可靠性和準確性。它還配備了堅固的陶瓷馬達和閥門部件,用於穩定和均勻的泵送作用。該裝置具有快速連接接口,便於排氣閥的集成和從工藝室的高效排出。SEIKO SEIKI STP-301CVB3設計具有廣泛的性能特性和安全法規。自動停止功能在一定壓力水平下自動停止操作,可通過數字控制器進行調節。此泵還具有軟啟動功能,緩慢增加內部壓力,以防止因突然沖擊波造成系統損壞。還配備了溫度防護,防止過熱。此外,它還允許一個高效和低噪聲操作,其振動阻尼器和聲學外殼。STP-301CVB3是各種半導體工藝的理想選擇。其強大的設計和可靠的性能使其非常適合長期的工業和研究應用。它在低分壓下轉移氣體的能力使得它成為濺射沈積、離子註入、等離子體蝕刻和光刻的絕佳選擇。BOC EDWARDS/SEIKO SEIKI STP-301CVB3有多種配置,例如濕式和幹式設計,適用於不同的應用。這是一個易於安裝和維護的泵是完美的半導體制造和加工。
還沒有評論