二手 CANON / ANELVA P-875CA #9105082 待售

CANON/ANELVA P-875CA是為等離子體蝕刻工藝設計的高性能、寬範圍抽水設備。這種通用的系統為要求苛刻的等離子體環境提供了極好的泵送速度和極好的可靠性。它是一種緊湊、高流量、低維護、集合式離子泵，專門為蝕刻工藝而設計。CANON P-875CA由於其優越的抽水速度和較短的回收時間，可用於多種應用。它的五級設計允許高達875升/秒的高抽水速度，極低的壓差為0.2 Torr。這使得蝕刻過程能夠得到準確的監控和控制，同時考慮到應用程序的具體需求。該裝置配有一個真空計控制器，提供高精度和靈活性，以及一個雙頻功率不穩定檢測器，可以檢測機器中的任何功率波動，並向用戶發出警報。此外，該工具還具有高質量的渦輪分子側泵，具有較高的泵送速度、較低的振動和較高的生存能力。為了確保卓越的可靠性,ANELVA P-875CA設計為將所有必要的組件內置到由不銹鋼和單個O形圈密封件制成的一件式外殼中。這樣可以防止任何外部汙染,避免損壞資產內部組件的風險。總體而言,P-875CA是一款卓越的機型,提供卓越的性能和可靠性。它具有真空計控制器、雙頻功率不穩定檢測器和渦輪分子側泵等廣泛的應用和特點，非常適合蝕刻工藝。一件式套管設計有助於確保設備的長期可靠性和優異性能。