二手 EBARA ET-300WS-A #165509 待售
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ID: 165509
優質的: 2000
Anticorrosion Turbomolecular Pump used on Applied Materials Centura Metal Etch R2 Chamber
ET-300WS-A description:
Part Number: AET08
Rotation Speed: 48,000 min-1
Weight: 15 kg.
Power Requirements: 200 ~ 240 V
2000 vintage
Applied Material's (AMAT) Information:
Part Number: 3620-01437W
Specifications:
Flange:
Inlet: VG 100
Outlet: NW 25
Pumping Speed: 270 N2 l/s
Maximum Compression Ratio:
N2: > 109
H2: 7 x 103
Ultimate Pressure: < 10-6 Torr
Allowable Outlet Pressure: 400 Pa (3 Torr)
Revolution Speed: 48,000 RPM
Run-Up Time: 6 Minutes
Installation Position: Any
Vibration Level: < 0.01 µm o-p
Pump Bake Out Temperature: 100°C max.
Bearing System: 5-axis magnetic bearing
Cooling System: Water
Cooling Water Flow Rate: > 2 l/min.
N2 Gas Throughput for Purging: 85 Pa-l/sec (50 sccm)
De-installed.
EBARA ET-300WS-A泵是為廢水和汙水處理系統設計的.它是一個單級潛水電泵,能夠泵送高達200 GPM,並開發了可靠的電機和堅固的部件,確保在惡劣條件下的卓越性能。它由兩個主要組成部分組成;葉輪和排氣口。葉輪由提供空氣夾帶的鋁制離心式殼體和提高效率的開槽葉輪設計組成。徑向軸承和軸向軸承安裝在軸上,使用壽命長.軸本身被封閉在熱塑性隔離室中,以減少噪音和振動。ET-300WS-A還配備了不銹鋼軸和耐腐蝕外殼,即使在惡劣條件下也能使用壽命長。泵的排氣口裝有可調節的不回流閥,允許泵的操作具有靈活性,並有助於防止泵離開時可能發生的回流,還可以方便地對泵進行改裝,以適應不同的應用。此外,與放電口的連接使泵能得到專業和遠程的監控和控制。該泵設計為裝有浮動開關,用於檢測被抽水的水位。這可以使泵以精確的精度運行,也有助於保護泵免於幹燥和超載運行,從而導致泵失靈。EBARA ET-300WS-A是一種高效產品,非常適合長期可靠性和低維護成本非常重要的任何應用。該泵以其高容量、堅固可靠的結構,適用於從廢水處理到排水、下水道、排水抽水等廣泛的廢水應用。
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