二手 NRC / VARIAN 3317 #70876 待售
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ID: 70876
High vacuum station designed for leak detection of Helium pressurized components or vessels
Includes: 18" dia x 20.5" tall ss chamber with electromechanical hoist on 20" ss baseplate
Pumping system consists of VARIAN M6 diffusion pump rated at 1500 l/s air, an NRC/Varian 316 LN2 baffle electropneumatic valves with sequencer and 17 CFM mechanical roughing pump
A combination cold cathode discharge gauge and 2 position thermocouple gauge is also included
Helium mass spectrometer is not included.
NRC/VARIAN 3317是一種渦輪分子泵用於創造高真空。這種泵是由電動機、渦輪分子轉子和定子組成的機械裝置,在大氣壓和真空之間產生恒定的氣體分子流動。泵在高達10-2 mbar的壓力範圍內運行。其最大轉速為14500 rpm,吸力為200 l/s。NRC 3317測得的冷卻功率為8.2 W,非常適合在保持清潔環境的同時保持穩定的溫度範圍。因此,它經常被用於粒子濃度非常低的應用,例如半導體制造。此外,泵還采用了直接驅動設計,消除了增加的摩擦,提高了性能。馬達噪聲水平低,僅在1米的距離內產生58dB。VARIAN 3317由耐腐蝕鋁材料制成,使其具有很高的耐用性和可靠性。所有部件都是為方便維護和部件更換而設計的,能夠在兼容的變速箱之間互換。泵的工作可靠性超過93%,因此每年的最小故障時間少於10分鐘。它有一個軸承室,設計用於清潔、成熟的潤滑系統,還配備了齒輪軸無刷設計。這提供了較低的磨損水平,提高了泵的預期壽命。渦輪泵整體設計緊湊,非常適合臺式真空應用。光學對準、溫度監控和內置過載保護增加了泵的整體質量和性能。總體而言,3317是在低粒數環境中需要清潔、可重復真空生成和熱穩定性的應用的理想選擇。其耐用性和易於維護的設計使其成為任何應用的可靠選擇。
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