二手 PFEIFFER / BALZERS TMU 262 #9252591 待售
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ID: 9252591
晶圓大小: 6"
Turbo molecular pumps, 6", many available
CF Flange with AF25 exhaust port
Exposed to inert gas and carbon dust
Process: Silicon carbide bulk crystal growth
Chemicals used:
Air
Argon
Carbon dust
Silicon carbide dust.
PFEIFFER/BALZERS TMU 262是一種旋轉式葉片泵,結合了優越的抽水特性和堅固的設計和構造。這種綜合泵模型為復雜的工藝應用提供了方便的維護和可靠的性能。BALZERS TMU 262是一款直驅機油潤滑旋轉葉片泵,泵送速度範圍為0.25至315立方米/小時,實測吸力高達6.9 mH2O。它還具有較高的氣體壓載能力,非常適合用於要求苛刻的過程,如磁體的真空處理和高真空過程。旋轉式葉片泵采用重型結構,由兩個高強度加固鑄鐵部件組成,確保最大耐用性和泵穩定性。配備高檔O形環,用於最佳密封和快速泵排量。其高慣性通過非金屬驅動耦合進一步增強,消除了金屬磨損,增加了設備壽命。泵可精確控制旋轉速度,並能夠在最小超調的情況下進行精確泵送。PFEIFFER TMU 262利用直觀的控制設備,集成了動態過程負載控制、負載相關的坡道速度調整和動態速度調整,以實現精確的阻尼。它還包含一個獨特的逆流保護系統,該系統可保護泵的內部免受溫度升高的影響,這是多個過程周期中長期應用的理想功能。除了這些功能外,TMU 262還提供多種便利功能,如自動重新啟動、可聽報警單元和多步驟設置驗證。此外,機器的內部電源有助於優化泵的性能並防止停機,而防振安裝裝置可使泵穩固地固定,並在操作過程中防止振動或噪音。這種健壯的泵有一系列尺寸,允許用戶選擇最適合他們的工藝要求的模型。總體而言,PFEIFFER/BALZERS TMU 262是一種可靠、高性能的泵,適合苛刻的工藝應用。其通用的設計確保了極致的精確度,並增強了耐用性和壽命,使其成為任何需要強大泵的工藝的絕佳選擇。
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