二手 PFEIFFER / BALZERS TMU 521UP #124369 待售

PFEIFFER/BALZERS TMU 521UP是一種高性能、中容量、主動冷卻的渦輪分子泵。其設計基於兩級擴散阻力泵送機構，具有專有的BALZERS ULTiMATE泵送性能技術。本泵設計用於半導體和激光加工及一般真空應用.BALZERS TMU 521UP的最大抽水速度為180升/秒,最終總壓力為2x10-10毫巴。這種性能是通過使用兩級陽極氧化鋁塗層組件實現的，優化用於低流體動力損耗和最小的內部阻力。第一級由兩個軸向布置的定子葉片組成，它們支撐在剛性殼體內，而第二級則由一個徑向轉子組組成。此外，轉子采用鈦合金制成，以增強耐磨性。此外，PFEIFFER TMU 521UP裝有主動冷卻電動機，有助於降低整體能耗，提供優良的冷卻參數和提高電動機壽命。電源連接裝有三級電流監測系統，在電流消耗過大的情況下關閉泵。該泵符合DIN要求,具有直接連接KF25端口,並且可以在任何方向安裝,從而在狹窄的空間中提供最大的靈活性。另一個好處是集成的k離子吸收器，它作為氧氣、氫氣和水蒸氣分子的清道夫泵，導致排氣性能提高。TMU 521UP采用永久性油霧分離器系統構建，防止油類分子釋放到工藝室內。這樣就形成了一個更清潔、質量更高的真空工藝環境，並通過消除更換油的需要來幫助延長泵的使用壽命。總體而言，PFEIFFER/BALZERS TMU 521UP是一種可靠高效的中型渦輪分子泵，非常適合各種高級真空和半導體加工應用。此泵可提供出色的長期性能、低功耗以及在狹窄空間中輕松安裝。