二手 ULVAC DAL-10S #9110366 待售

ULVAC DAL-10S是一種幹式機械泵,具有很高的強度和性能。這種泵的設計滿足了等離子體工藝最苛刻的要求，如RIE（反應性離子蝕刻）、CVD（化學氣相沈積）、MBE（分子束外延）等蝕刻應用。DAL-10S是一種徑向幹式機械泵，具有兩級壓縮，包括軸承潤滑和活塞/柱塞機構。它使用一種特殊設計的圓柱形轉子，即使在極限壓力下也能有效操作。該轉子由高抗性不銹鋼制成，直接與傳動軸相連，確保低振動操作。兩級壓縮法利用內缸中的活塞和外缸中的閥門。活塞和閥門在內缸中產生真空，直接轉移到加工室。內缸沿其直徑有許多彎曲的葉片，以確保泵送氣體沿其整個長度均勻流動。ULVAC DAL-10S泵是為高流量能力而設計的，最大標稱泵送速度（NPS）為25立方米/小時（900升/分鐘）。通過精心設計的不銹鋼過濾器提供了在線過濾和顆粒消除，該過濾器可去除0.3 μ m以下的顆粒和灰塵。泵裝在全焊接不銹鋼殼體中，並配有油位指示器、排油口和排水閥。它可以在0°C至45°C的溫度下運行，噪聲水平低於65 dBA。為方便起見,DAL-10S配備了可視壓力表和壓力指示器面板。ULVAC DAL-10S是一種可靠且持久的幹機械泵，非常適合許多等離子體工藝。其低振動、低維護的設計保證了無故障運行和最大效率。這種泵以其卓越的流速和過濾能力，是任何需要優質真空的工藝的絕佳選擇。