二手 ULVAC LR90 #9287394 待售

ULVAC LR90是一種用於最終真空應用的旋轉葉片機械真空泵,能夠達到高達0.005 torr （5 x 10-4 mbarA）的真空水平。其特點是采用直接驅動電機，對內部部件進行強制潤滑，並采取最佳的密封措施，最大限度地減少氨泄漏率。高極限真空，結合先進的采油系統和汙染物管理，使其成為半導體加工的理想之選。LR90包括用於長期、連續工作運行的高能效、超高能直驅電動機。它還配備了先進的采油設備，通過從真空室中回收油並將其用於確保泵的連續潤滑來提高效率。其先進的汙染物管理系統采用兩級分油器，以降低運營成本。ULVAC LR90有一個最優的密封措施，以盡量減少氨的泄漏率。這包括雙作用O形圈密封件，當提供清潔的氮氣和/或氧氣時達到500的密封系數。一個特殊的通風裝置將氨泄漏率降低到1.0 x 10-8 mbarA，減少殘留氣體汙染。LR90設計便於維護和更換。該泵無需拆卸即可使用，其堅固的構造允許長達5萬小時的連續運行。它還具有廣泛的工作溫度，允許在各種環境中使用。此外，ULVAC LR90有一個集成的監控機器，提供有關泵的性能的實時信息。它還包括一個保護模式功能，在操作異常的情況下將關閉泵。內置的溫度和差壓指示器提醒操作員註意任何問題。LR90是一種先進的旋轉葉片機械真空泵，專為最終真空應用而設計。采用節能直驅電機、先進的采油系統和優化的密封措施，最大限度地降低了氨泄漏速率。其集成的監控工具和保護模式功能提供實時信息，並提醒操作員任何問題。ULVAC LR90結構堅固、運行時間長、工作溫度廣,是半導體加工的理想選擇。