二手 VARIAN DS 602 #110124 待售

VARIAN DS 602是一種膜泵，設計用於半導體及相關行業。這種泵是理想的應用，如超高真空沈積薄膜和其他先進的半導體工藝。泵的設計目的是在較低的壓力下提供較高的泵送速度，同時保持極其可靠和操作時極其安靜。VARIAN DS602是一種幹式式多級真空泵，具有幹式不旋轉直線運動密封。設計融合了全套軸承，每個軸承都有自己的機械密封，在堅固且密封良好的外殼中，以確保最大的耐用性和性能。完全封閉的外殼可防止汙染，並有助於將聲音水平保持在最低水平。DS-602包括獨特的轉子設計,在低真空水平下提供穩定且控制良好的壓力,非常適合半導體應用中的優化吞吐量。此外，還提供了一些行業標準控制，以便於控制真空壓力和其他操作參數。泵由50/60 Hz頻率範圍的強大交流同步電動機驅動，設計用於在低頻時提供最大扭矩。此功能可確保VARIAN DS-602能夠在較高的壓力和溫度下提供可靠的操作。此外，電動機是專門為降低振動和噪音水平而設計的，非常適合用於敏感的半導體應用。DS602旨在提供高效運行,95%的壓縮空氣用於最大限度地提高潛在吞吐量。此外，泵還配備了一套進氣和排氣過濾器，可進一步幫助減少顆粒物汙染並提高效率。包括的安全聯鎖有助於確保操作保持在設備參數範圍內,並且作為額外的安全措施,一個壓力釋放閥和一個鼓風機可在較低的壓力和溫度範圍內運行。總體而言,DS 602是一個出色的解決方案,適用於需要可靠、低壓和高泵送速度性能的應用。此外,它的設計確保泵動態地保持幾乎無噪聲的操作,使其成為一系列敏感的半導體相關應用的理想選擇。