二手 ACCRETECH / TSK ARTS-HS #9244273 待售

ACCRETECH/TSK ARTS-HS是一種快速熱處理器，旨在作為Power半導體器件開發的理想平臺，包括Power模塊和Driver IC。處理器利用快速熱處理和電力應用技術，在短短15分鐘內就實現了高速準確的熱處理結果。它具有很高的吞吐量，在15分鐘內處理了10-15個晶圓，可以處理各種樣本量。處理器利用安裝在重型鋼或鋁制框架上的熱板設備,為快速熱處理提供有效的熱環境。熱板系統包括一個高溫、高速的陶瓷加熱元件，有助於快速、均勻地加熱晶片。熱板內嵌有一系列溫度傳感器，以確保可靠準確的溫度調節。熱板的溫度也由基於傳感器反饋的PID溫度控制器控制。TSK ARTS-HS可與各種氣體輸送系統配合使用,以實現快速、受控的熱處理。這些氣體包括在熱板和樣品晶片之間輸送的載流子、凈化和反應性氣體。處理器還可以與外部氣體輸送系統一起用於氧化和氮化等應用。處理器配有一個自動機器人臂，該臂允許熱板在樣品晶片之間移動，樣品晶片移動到集成裝載機進行存儲。機器人臂具有視覺單元，可用於監測熱處理的進展，確保晶片與熱板精確對齊。機器人手臂上裝有一系列安全聯鎖裝置，防止處理器在熱板移離樣品晶片時操作。此外,ACCRETECH ARTS-HS具有用戶友好的軟件界面,易於控制和監控處理器的操作。接口可以從PC、平板電腦或智能手機訪問，並具有一系列可以調整以達到預期效果的參數。總體而言，ART-HS是一種先進的快速熱處理器，為Power半導體器件的熱處理提供高速精度。其熱板機、氣體輸送能力、機器人臂、用戶友好的軟件界面都結合在一起，提供了出色的性能，節省了時間，提高了生產率。