二手 AG ASSOCIATES 2146 #118008 待售

AG ASSOCIATES 2146是專門為半導體處理而設計的快速熱處理器（RTP）。2146具有許多特點，使其成為現代半導體制造的理想選擇。AG ASSOCIATES 2146有一個令人難以置信的快速的工藝循環時間，允許更高的矽片吞吐量。系統的循環時間可以縮短到20秒,每小時最多可執行800個進程。這允許安裝周期較短的較大批次。2146允許在處理過程中提高熱剖面的精度。它具有在多個區域中精確控制激光二極管溫度的功能，能夠對單個區域或級聯的多個區域熱壁進行極其精確的溫度控制。這一級別的精密控制可以大大降低熱循環結果的可變性，使過程更加堅固和均勻。AG ASSOCIATES 2146還提供了多種可用於RTP過程的工藝化學。例如，它能夠提供氧化、氮化、退火和蝕刻。這使得它能夠滿足任何給定過程的要求，最大限度地提高靈活性和效率。2146還配備了精確的溫度監控器，在實際過程周期內提供對溫度的最佳實時控制。此監視器用於確保熱輪廓準確,並對過程中的變化作出動態反應。最後,AG ASSOCIATES 2146為用戶提供了許多安全功能,如氣體控制安全功能和安全協議。這些功能有助於確保過程安全進行，並符合最高安全標準。2146是尋求針對現代半導體處理進行優化的RTP工藝的制造商的理想系統。利用其快速的周期時間和精確的溫度控制,它可以為希望提高生產吞吐量和降低每晶圓成本的用戶提供高效而可靠的解決方案。