二手 AG ASSOCIATES 410 C23 #199775 待售

AG ASSOCIATES 410 C23是一種快速散熱處理器,旨在以毫秒/秒的時間分辨率將可靠且可重復的基板加熱過程傳遞到20至1500攝氏度的溫度。這種處理器的設計服務範圍廣泛的工業過程，如半導體加工，MEMs制造和光子研究使用。這種快速熱處理器提供樣品均勻性、均勻的溫度分布和可重復的熱處理,因為它使用的是水平或垂直輸送機,並配有集成的溫度配置文件控制器。這允許為常規單晶片處理（RSW）或多晶片配置（MSW）設置過程。晶圓可以以最小的中斷或關閉時間裝卸，使其適合於具有校準改進和增加吞吐量的制造應用。410 C23有11個獨立的熱區,以及5個可選的虛擬區,具有直接供暖和制冷功能以及吸熱和放熱功能。它具有可擴展的腔室設計，可以容納直徑達200毫米/8英寸的晶片。溫度輪廓控制器還允許在每個區域設置特定的成形器溫度,以確保最精確和準確的熱循環。它具有6-8KW的有效加熱器容量和高達1.3KW的冷卻容量。這與直接加熱和冷卻功能相結合,確保了非常快的熱循環時間。與傳統的快速熱處理器相比,真正的一步熱處理和溫度去相關功能可以將熱循環時間快速縮短70%。AG ASSOCIATES 410 C23還有一個保護包，提供氧氣和氮氣系統選項。這有助於減少空氣汙染，從而在室內形成氧氣/氮氣氣氛。410 C23的其他功能包括用於快速診斷的自動化現場服務實用程序、增強的系統訪問能力以及用於過程控制的用戶可調安全限制設置。該散熱處理器還具有實時報警器、集成的數據傳輸/存儲、專用的冷卻風扇、鏡像監視器室和自動晶圓流程圖記錄器,可消除對工藝室的汙染。總體而言,AG ASSOCIATES 410 C23 Rapid Thermal Processor是一款用途廣泛、效率高的處理器,具有眾多功能,是任何工業生產過程的理想選擇。