二手 AG ASSOCIATES 410 #9140495 待售

AG ASSOCIATES 410是一種快速熱處理器（RTP），設計用於熱處理各種基板，如SiO2、Si3N4、聚合物、金屬等。該設備能夠在單個循環中執行以下過程：熱退火、氧化和氧化退火。410是一個可靠且可重復的系統，旨在滿足半導體器件和MEMS處理的要求。AG ASSOCIATES 410是一個由一個加工室、控制器和一次支撐四個基板的熱板機組成的批處理型單元。它有一個圓柱形的石英工藝室，帶有兩個鋁合金板，以提供整個基板的均勻溫度。該工具的最高工作溫度為800°C,能夠在30秒內加速到溫度,在基板上均勻度± 2°C。此外，該資產還配備了強制氣體循環功能，可在多個基板上提供統一的溫度控制。410是一款高級型號，提供了廣泛的功能，包括高級溫度測控、自動晶片對準、負載鎖定操作和遠程腔室診斷。此外，該設備的壓力範圍為10Torr至1000Torr，並與各種室內大氣層兼容，包括N2、H2、Ar和O2。除了上述功能外,AG ASSOCIATES 410還提供了一個簡單直觀的用戶界面,可方便操作和可調參數。此外，該系統還提供各種分析和診斷功能，包括O2等離子體蝕刻和氧化分析。此外,還有一個可選的MFC接口,可輕松與各種分析儀器集成。總體而言,410是一個用途廣泛且可靠的快速熱處理單元,它結合了精度、速度和可重復性,使其成為各種半導體器件和MEMS處理應用的完美解決方案。其先進的功能和用戶友好的界面使其易於操作和維護。因此，它是需要快速高效RTP工具的制造商或研究實驗室的理想機器。