二手 AG ASSOCIATES 4100 #9147789 待售

AG ASSOCIATES 4100快速熱處理器是先進半導體制造的強大可靠工具。4100具有先進的設計,可提供高吞吐量和在批處理模式下快速處理大型晶片的能力。該裝置支持氧化、退火、摻雜劑植入、氮化物沈積和快速熱處理等多種過程。該裝置配有氣體凈化系統和各種溫度監測傳感器，用於精確的過程控制。AG ASSOCIATES 4100具有集成的基於微處理器的控制器,具有各種可編程溫度曲線。該處理器允許為每個晶片定制溫度配置文件,從而通過確保統一的處理時間和溫度來提高可靠性。用戶還可以編程可調節的功能。作為溫度斜坡速率、區域控制和公差。該單元還配備了一個旋轉室，可同時容納四個晶片。腔室在多個加熱和冷卻區域之間旋轉和滑動，為每個晶片提供統一的溫度控制。這樣可以確保均勻的加熱和冷卻速率,從而提高晶圓的吞吐量。利用自動氣體凈化功能減少晶片處理過程中的潛在汙染。清除氣體儲存在外部儲罐中，並由氣體流量計監測。4100具有陶瓷芯設計，允許在快速熱處理過程中高效散熱。該裝置還包括一個冷水機，根據所需的冷卻速率迅速降低夾套的溫度。這樣可以確保晶片的均勻冷卻,並在操作過程中將溫度保持在+/-5攝氏度。AG ASSOCIATES 4100配備了先進的監控系統，可方便監控和精確控制溫度。其中包括各種警報,以提醒用戶註意潛在問題並確保操作安全。4100具有廣泛的設計功能,是一種高效可靠的半導體制造工具.