二手 AG ASSOCIATES AW 610T #9272710 待售
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單擊可縮放
ID: 9272710
晶圓大小: 6"
優質的: 2012
Rapid Thermal Processors (RTP), 6"
With upgraded OS windows
Aluminum chamber
With water cooling and gold plating Isolated
Quartz tube without window oven control board
Main control board bottom and top heating: 21 (1.2 kW Each)
Radiation heating lamp modules
(4) Bank zones: Top, front, rear, bottom
Quartz tray, 3"-6" round wafer
Gas line
MFC Without shut-off valve
Holder: 100-800°C
NESLAB RTE7 Chiller
LCD Monitor, 17"
Mouse
Standard keyboard
T-Shape quartz with TC
Power supply: 208 V, 60 Hz, 50 A, 3 Phase
2012 vintage.
AG ASSOCIATES AW 610T Rapid Thermal Processor旨在滿足半導體行業高級熱工藝所需的快速坡度和高溫要求。AW 610T為各種制造工藝提供了卓越的性能,包括模具粘結、模具連接、擴散、氧化、回流、金屬化和退火。AG ASSOCIATES AW 610T配有雙模控制器,使用戶能夠對過程配置文件或穩態溫度進行編程。此功能大大增強了用戶在確定烤箱設定點方面的靈活性。AW 610T具有一種有效的頂熱優化算法,該算法旨在利用分布式加熱元件和有效的溫度傳感來實現極好的均勻性和控制性。AG ASSOCIATES AW 610T還包括外部和內部配方的精密晶圓跟蹤程序。此功能允許烤箱調整工藝參數,以適應個別晶片的不同條件。AW 610T配備了先進的自測和自動調諧系統,自動啟動並完成所有組件的安全測試。該系統有助於確保安全可靠的制造環境。AG ASSOCIATES AW 610T還包括多區域模式操作,以實現精確的溫度控制和優化的輪廓執行。此外,AW 610T還配備了模塊化設計,使其更易於組裝、配置和維護,並允許在操作環境中實現最大的靈活性。AG ASSOCIATES AW 610T的最高溫度範圍為1000 °C (1832 °F),最大坡道速率為1 °C/Sec (1.8 °F/Sec)。AW 610T符合SEMI Standard 276,對於需要快速加熱和冷卻晶片而又不犧牲精度或溫度均勻性的制造商來說,它是一種經濟高效的解決方案。其可靠的設計和堅固的性能使其成為半導體工業中許多先進熱工藝的理想選擇。
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