二手 AG ASSOCIATES AW-810M #9013662 待售

AG ASSOCIATES AW-810M是一種用於半導體器件和材料高溫處理的快速熱處理器（RTP）。RTP是專門針對離子植入、外延、幹濕蝕刻、擴散和快速熱退火、N和P+離子植入等相關工藝的加工要求而設計的。AW-810M提供精確的熱處理，具有最大的均勻性和可重復性。RTP具有高壓、閉環加熱和冷卻室、熱電偶控制的往復級以及兩臺用於射頻和直流電源的發電機。AG ASSOCIATES AW-810M還配備了集成的電氣控制系統和先進的用戶界面，結合起來提供整個腔室最大均勻度為1.5%的精確溫度控制。AW-810M利用石英管熱範圍,允許加工溫度高達1150 °C。加熱器的最大輸出功率為4.5kw，可在一毫秒內達到高達800°C的斜坡溫度。為確保溫度均勻,AG ASSOCIATES AW-810M采用熱電冷卻系統,該系統可提供高效、快速的熱循環以及大約每秒100°C的冷卻速率。RTP還配備了熱電偶控制的往復運動級，允許在過程周期中進行精確的溫度控制。此外，AW-810M還配備了兩臺用於射頻和直流電源的發電機，以及一個液氮系統，用於在低壓下實現較高的溫度均勻性。AG ASSOCIATES AW-810M設計用於各種研發環境,包括大學、研究所和工業實驗室。RTP非常適合半導體的處理，與傳統方法相比，它可以大大減少處理時間。AW-810M易於操作,提供均勻的溫度和對過程變量的精確控制。包含的用戶界面使RTP的操作和維護變得輕松高效，使用戶能夠在短時間內實現統一的處理結果。