二手 AG ASSOCIATES Heatplus 2146 #21341 待售

ID: 21341
晶圓大小: 4"-6"
Rapid thermal processor, 4”-6” Oxide and nitride film deposition Cassette to cassette handling Temperature range: 400°C to 1300°C Single chamber Parts system.
AG ASSOCIATES Heatplus 2146是一款用於高性能半導體器件應用的快速熱處理器。它采用先進的技術和組件設計,為任何高效的半導體工藝提供工業級的加熱解決方案。這種先進設備的設計符合性能、質量、可靠性和安全性的最高標準。Heatplus 2146旨在以可靠的溫度精度和可重復性提供快速的熱循環。它在一個腔室中具有兩個或三個獨立的頂部和底部區域元素,每個元素都可以獨立操作或作為一個組使用。設備還裝有兩個或三個RTD溫度探測器,具體取決於配置。內置的數字控制器為用戶提供了對流程參數和操作的高度控制。AG ASSOCIATES Heatplus 2146的設計使它的用戶能夠通過提供更短的加熱和冷卻時間以及從一個設定點到另一個設定點更平穩的過渡來實現快速的熱循環速率。此外,它的不銹鋼結構為用戶的半導體工藝提供了堅固的框架和環境保護。建築還包括用於溫度控制和降噪的氣簾。Heatplus 2146是一種便攜式、易用的設備。它直觀的用戶界面允許用戶輕松設置所需周期的參數。這消除了對復雜編程的需求,並使其用戶友好。此外,它的PLC控制器和高級診斷功能提供了高水平的保護,確保了可靠的操作。最後,AG ASSOCIATES Heatplus 2146是一款可靠、高效且易於使用的快速熱處理器,適用於各種工業級應用。它為用戶提供了先進的溫度精度、可重復性和循環參數控制在直觀和穩健的框架。該設備非常適合用於高性能半導體工藝,並經過認證可用於各種行業。
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