二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #170134 待售
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ID: 170134
晶圓大小: Up to 4"
Rapid Thermal Processor Annealing System, up to 4"
Specifications:
Single wafer annealing with precision temperature control
Accommodates wafer sizes up to 4"
Operating temperature range of 400° to 1200°C
200/208 VAC, 50/60 Hz, 100 Amp
Controller not included.
AG ASSOCIATES Heatpulse 210是一款通用的快速熱處理器(RTP)。它被設計為能夠對各種基板(包括但不限於玻璃、砷化氙和矽)進行準確、可靠和可重復的溫度控制。它具有寬廣的溫度範圍(從15°到1200 °C),可以處理直徑達200毫米的大型基板。熱脈沖210由雙極交流電源驅動,並包含一個前沿加熱級。它擁有高效的傳熱系統,準確的反饋控制器,以及最先進的觸控界面。此外,一個獨特的指南軌道允許輕松加載、更長和更穩定的流程周期以及可靠的設置重復性。AG ASSOCIATES Heatpulse 210具有簡單而高效的數字處理接口和先進的過程控制功能。這可以用來控制和監測基板的溫度。它具有三區架構,具有優異的設備保護和精確的溫度均勻性。用戶可以使用高分辨率的步長控制器根據工藝要求調整加熱/冷卻速率,或者應用用戶定義的配方來控制溫度上升和冷卻速率。Heatpulse 210附有一套全面的安全特性。過溫成像儀用於檢測過程中基板的任何不希望的加熱。此外,它的無粒子環境滿足或超過了要求最苛刻的行業的所有純度要求。AG ASSOCIATES Heatpulse 210是一款可靠、易於使用的快速熱處理器,可提供精確的溫度控制和長期可重復性。其先進的控制系統,優越的溫度均勻性和安全特性,使其成為各種熱處理應用的理想選擇。
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