二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #293627701 待售

AG ASSOCIATES Heatpulse 210是一種快速熱處理設備，設計用於為各種晶圓基板提供可重復的溫度控制工藝。該系統以脈沖快速熱循環模式運行，以實現最佳的過程控制，使產品具有高度均勻的性能和卓越的可重復性。該單元采用模塊化結構,易於為各種應用程序配置。它設計為易於維護,允許快速、輕松的設置和操作。在其基本配置上，機器帶有一個RTP（快速熱處理器）站、一個退火站和一個8英寸石英石英敏感器的熔爐。它旨在以雙區域配置運行，提供兩個單獨的流程室，以促進多個同時流程。該工具的標準特性包括精確的溫度控制資產，由板載嵌入式控制器控制，提供精確的熱循環管理，包括精確的自動溫度斜坡、精確的溫度采樣和控制以及精確的熱測量。此外，該模型還包括一個全面的數據記錄設備，它為分析和過程優化提供了寶貴的數據。該系統還包括一個基於Web的圖形用戶界面，便於設置、校準和控制。此外，該裝置能夠支持復雜的過程，包括精確的泵降、多級真空泵送和對時間敏感的過程。它還具有多種類型工藝的制造能力,從單占空比操作到連續、統一的批處理過程。總體而言，Heatpulse 210是一款強大的快速熱處理機，設計用於精確、可重復的溫度控制和精確的工藝優化。通過模塊化設計,可以輕松配置它以滿足任何特定應用程序的需求。通過將RTP站和熔爐站的特點結合起來，能夠支持多種類型的工藝，包括精密的泵降、多級真空泵送、均勻的批處理過程運行和對時間敏感的操作。