二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 4100 S #9398836 待售

AG ASSOCIATES Heatpulse 4100 S
ID: 9398836
晶圓大小: 6"
Rapid Thermal Annealing (RTA) system, 6".
AG ASSOCIATES Heatpulse 4100 S快速熱處理器是一種高效且經濟實惠的設備,專為大型應用的加熱和冷卻而設計。它采用創新的熱頭設計,提供精確的溫度控制.該設備具有多個工藝頭,可以快速處理各種基材和尺寸。它可以精確地處理多達4 「x 4」的基板,這取決於工藝頭配置。Heatpulse 4100 S提供多種工藝控制選項,包括多區域溫度控制系統、坡道和浸泡以及閉環伺服單元。它能夠控制溫度在30-480°C到低至0.2°C的精度。AG ASSOCIATES Heatpulse 4100 S還具有強大的冷卻機床,最高可達60°C/分鐘,最高可達零°C/分鐘的溫度峰值。該工具配有六個6kW熱板,其中四個最高溫度為250 °C,其余兩個最高可達480°C。資產還具有創新設計,允許廣泛的進程序列,包括簡單的隨機存取模式、4點線性規劃和8點線性規劃。它還具有可選的軟件界面,可用於優化流程參數並對其進行監控。該模型得到現場技術團隊的支持以及遠程訪問的在線支持。符合CE認證,並附有一年有限保固。Heatpulse 4100 S可以輕松與其他生產設備集成,並提供低運營成本和最低維護。是大型應用的理想快速熱處理解決方案。
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