二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 #9146307 待售
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ID: 9146307
晶圓大小: 5"-8"
優質的: 1993
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy:
+3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1993 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 4108是一款高速高級快速熱處理器,專為嚴格的工藝應用而設計。Heatpulse 4108具有先進、自動和精確的溫度控制功能,可提供最大程度的過程控制和靈活性。AG ASSOCIATES Heatpulse 4108利用了一種強大的石英塗層碳化矽源材料，提供可靠和精確的溫度控制。它具有每秒1000攝氏度的快速坡道速率。利用其先進的溫度控制器，Heatpulse 4108能夠快速準確地調節溫度，為用戶提供極高的精度和重復性。此外,AG ASSOCIATES Heatpulse 4108提供了卓越的熱均勻性.其多區、石英塗層的碳化矽加熱元件確保整個晶片的溫度分布均勻。它還提供了改進的熱循環，以提高產量和工藝穩定性。Heatpulse 4108系統的優點之一是模塊化、靈活的設計。它可以在單次脈沖或多次脈沖模式下操作。此外,AG ASSOCIATES Heatpulse 4108提供易於配置的參數,允許用戶創建自己的周期配置文件。用戶可以從各種各樣的晶圓尺寸中進行選擇,並安裝自定義的工藝配方。為了安全起見,Heatpulse 4108采用自動鎖定、隔離芯和集成互鎖功能設計。它還具有互鎖保護的故障診斷功能。總體而言,AG ASSOCIATES Heatpulse 4108是一款可靠且用途廣泛的快速散熱處理器。其精確的溫度控制、改進的熱均勻性和可定制的循環輪廓使其非常適合苛刻和復雜的工藝應用。
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