二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #293811776 待售
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ID: 293811776
晶圓大小: 6"
Rapid thermal processors, 6"
(21) tungsten halogen lamps in an upper and lower array
No quartz tube and tray
Graphical User Interface (GUI).
AG ASSOCIATES Heatpulse 610是一款工業級快速熱處理器。該機具有快速的熱循環和精確的溫度控制,非常適合快速退火和加熱應用。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610可以在操作員指定的廣泛溫度範圍內提供均勻、可重復的加熱和冷卻。Heatpulse 610設計有一個大的熱室,可以容納高達600mm x 600mm的材料。此設計可確保材料表面均勻加熱,並消除較小腔室中可能出現的溫度波動。熱室通過觸摸屏顯示器操作,使操作員能夠精確控制每個過程步驟。HEATPULSE 610采用高精度、數控混合動力系統,性能優於傳統方法。該電力系統包括兩個加熱元件,一個用於優化溫度均勻性和最大化功率效率的大功率閉環控制,以及一個低分辨率和獨立分辨率的溫度控制系統。AG ASSOCIATES Heatpulse 610由於其快速的熱循環,在快速退火和加熱應用方面表現出色。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610的循環時間為20到60秒,可以快速準確地將材料加熱到最高800 °C的溫度。數字溫度控制消除了溫度設置超調的可能性,並確保過程中快速、可重復的加熱。此外,Heatpulse 610還采用模塊化開放式體系結構平臺進行設計,能夠集成到現有生產線中-還提供了附加集成的附件。總體而言,HEATPULSE 610提供卓越的性能、快速的熱循環時間、精確的溫度設置和寬廣的溫度範圍,使其成為快速退火和加熱應用的完美機器。
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