二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9226004 待售

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ID: 9226004
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 1996
Rapid Thermal Processor (RTP), 4"-6" Main body Side panel Pyrometer chiller Rear monitor cart Quartz rack (Tray) Wafer transfer operation, 6" Robot and controller AC And DC power STDBUS Control box Pyrometer measurement temperature control system Pyrometer and special water cooler Control appliances and cables Temperature calibration sheet Temperature calibration tool pyrometer and omega 6-Gas channels with 5 MFCs Cooling station 1996 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108是一款高分辨率快速熱處理器,設計用於研究和生產半導體晶片。該處理器能夠保持精確的熱特性,並控制從低溫到超過1,400攝氏度的整個晶圓溫度範圍。它非常適合使用薄膜和多層工藝處理晶片,以及用於制造和測試設備。AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108具有先進的高分辨率快速熱處理器,具有快速熱分析功能,可快速執行與熱分布、脫氣和離子植入相關的所有操作。利用其快速的斜坡速度和低功率的加熱元件技術,晶圓的制造可以在幾分鐘內完成。該熱系統進一步配置了一個集成的可編程控制器,用於對溫度、壓力、時間和其他條件進行獨立、精確的控制,以執行各種過程。此外,此處理器可以進行多種測量,包括但不限於溫度和電流、電壓、時間和壓力。這種操作模式允許用戶自主執行一系列操作,實時監控流程的情況。此外,此處理器還采用了可選的高級專有PID控制算法,以提高控制精度。處理器還配備了眾多的安全功能,如自動關機功能、自動壓力控制、過溫保護和H2O保護。安全特性保證了系統的最佳安全性,延長了系統的使用壽命。該處理器還包括一個集成的真空端口、一個升高的端口和多個I/O端口,以允許連接到外部系統、傳感器和其他硬件,以便通過實時監視和控制連接到PC。HEATPULSE 8108是為研究和生產半導體晶片而量身定制的綜合性快速熱處理器。其先進的設計和特點使其成為薄膜和多層制造的理想選擇。Heatpulse 8108憑借其卓越的快速熱性能分析、低功率加熱元件技術、先進的PID控制算法和內置的安全系統,是半導體晶圓制造工藝效率和生產率最大化的完美解決方案。
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