二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #9235031 待售

AG ASSOCIATES Heatpulse 8800是為半導體工業研發而設計的快速熱處理器。為快速熱退火、快速熱氧化和快速熱氮化工藝而研制。所有這些工藝都用於半導體的制造。AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800是一種堅固的儀器，配置有無油泵和石英紅外加熱燈。它具有整個工藝室的高溫均勻性，具有較高的重復精度和改進的工藝可重復性。它能夠達到高達1000 °C的溫度，並且可以退火直徑高達150 mm的晶片。它還設有可達到10 mTorr的兩層真空設備。熱脈沖8800有一個特別設計的冷卻系統，方便快速冷卻。它保證了一個自適應單元，能夠精確地相應地調整熱脈沖模式，以達到理想的過程參數。該儀器還裝有一個多區加熱機，用於精確控制工藝室內的多個熱區。它最多可管理五個供熱區，從而使整個工藝室均勻退火。其用戶友好的設計具有易於使用的圖形界面，以允許直觀的控制。該軟件能夠提供溫度、工藝室壓力、時間和停留時間等參數的詳細圖形表示。它還具有過程跟蹤參數,如總熱時間和循環數。HEATPULSE 8800易於維護,可提供全球服務和支持。它是一種快速、可靠、精確的熱處理器，對半導體研發過程至關重要。