二手 AG ASSOCIATES RTP-2106 #9045424 待售
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ID: 9045424
晶圓大小: 3"-6"
Rapid thermal processor, 3"-6"
Applications:
Implant activation
Silicide formation
Oxide reflow (PSG & BPSG)
Alloying
Cassette to cassette
Microprocessor controlled
Wafers per hour throughput: 60-100
Depending on anneal cycle
Temperature range: 400-1250ºC
Anneal time: 1-300 Seconds
Electrical requirements:
208-240V, 3 Ohm
60A Maximum
Water requirements: 2 GPM at 60-75 PSG.
AG ASSOCIATES RTP-2106快速熱處理器（RTP）是一種標準速率的熱處理器,旨在快速高效地處理材料。它采用精心控制的、高功率的熱工藝來處理半導體晶片、平板顯示器和微電子器件等材料。這種通用工具可用於退火、活化、氧化、驅動或將薄膜沈積到基板上。RTP-2106配備了最新的控制設備,具有先進的基於算法的熱分析功能,以及集成的數據日誌記錄功能。先進的傳感器和多個腔室可以實現最佳的溫度控制和均勻的熱分布。AG ASSOCIATES RTP-2106能夠達到1010°C的溫度,準確率為+/-2°C。這臺機器還允許快速循環時間，導致曝光時間更短，處理時間更快，產量更高。RTP-2106還具有集成的安全功能,例如過溫保護、可移動SS屏蔽、帶自動關閉的LED警告系統和緊急停止按鈕。該裝置還配備了內置真空機，確保產生的蒸氣正確排出。AG ASSOCIATES RTP-2106的設計占地面積很小,非常適合小型實驗室使用。該工具易於編程和操作，可以定制以滿足每個環境的特定需求。此外,RTP-2106還具有高效的數據分析功能、安全的受密碼保護的用戶訪問權限以及大量的可追蹤性工具。總體而言,AG ASSOCIATES RTP-2106是一款先進的快速散熱處理器,旨在以具有競爭力的價格提供可靠高效的性能。廣泛的功能和集成的安全協議使該資產成為尋找通用高效散熱處理器的任何實驗室的理想選擇。
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