二手 ALLWIN21 AWgage 200 #9201797 待售
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ID: 9201797
晶圓大小: 4"- 8"
Metal film metrology system, 4"- 8"
Main frame
Measurement head
Non-contact sheet resistance measurement
Measurement range: 1m W/sq to 19,990 W/sq
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Wafer carriage travel programmed:
With internal encoder step motor
Without encoder disk
Test sights:
Single center-point
(5) Points
(9) Points
Highly conductive or metal sheet resistance:
1 to 1,999 mW/sq
1 to 1,999 W/sq
10 to 19,990 W/sq
Highly conductive or metal film thickness minimum:
100Å (Ångström) Maximum:
Proportional to resistivity
Maximum for a resistivity of 2.7 mW: 270 kÅ (27 mm)
Sheet resistance repeatability:
Range s/X (±%)
1 to 100 mW/sq 1
100 to 500 mW/sq 2
500 to 1000 mW/sq 4
1000 to 1,999 mW/sq 6
1,999 to 5,000 W/sq Consult factory
5000 to 10,000 W/sq Consult factory
10,000 to 15,000 W/sq Consult factory
Boards:
RF Tank circuit
Pentium® class computer
Main control
Motor control
Ports:
(2) USB
(2) Extra DB9
Touch screen GUI, 15"
Mouse & keyboard
Room temperature: 23° C
Power:
50/60Hz
Single phase
110/220VAC
2 Amps
CE Marked
Wafer loading: Manual.
ALLWIN21 AWgage 200是一種快速熱處理器,旨在在各種半導體、光子學和LED制造工藝中快速加熱、冷卻和傳輸材料。AWgage 200可以實現速度高達1,800°C/min的極端溫度，使其適合許多依賴於溫度的應用。設備獨特的模具和基於晶片的熱技術有助於減少編程、處理和循環時間,同時保持零件完整性。它的靈活性允許各種定向加熱和冷卻操作，以及廣泛的可編程溫度。ALLWIN21 AWgage 200能夠處理多種材料，包括各種半導體和光子基板、矽片、氧化鋁、藍寶石、石英和金剛石基板。其先進的熱控制技術還允許精確的溫區管理和精確的溫度上升速率，以創建明確定義的溫度剖面。該系統還具有真空控制的環境壓力室、低溫冷卻能力，以及一個可互換的物料處理單元和獨立的泵和處理模塊。AWgage 200設計了一個用戶友好的控制機器，使其易於控制和監控整個熱過程。該工具的連續監控和報告功能,提供有關資產操作、溫度控制和周期時間的詳細實時更新。此外,它的渦輪增壓氣流功能通過熱處理器加熱的快速冷卻部件來保持過程一致性,從而實現無錯誤的後處理部件。ALLWIN21 AWgage 200是一款功能強大、可靠且靈活的散熱處理器,可提供精確的溫度控制、超快速的加熱和冷卻功能,以及均勻的加熱/冷卻覆蓋範圍,可快速處理多種材料。AWgage 200具有卓越的熱工程能力,是各種高性能熱工藝的理想解決方案。
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