二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-22033 #38964 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-22033快速熱處理器（RTP）是一種先進的半導體熱處理裝置，用於晶圓的快速加熱和冷卻。它能夠在很短的時間（3-5秒）內快速、精確、可重復和均勻地加熱和冷卻晶片。RTP是同類技術中唯一一種能夠在不使用大功率燈的情況下保持溫度大於1000 °C的技術。該機的設計由兩個用於晶圓快速加熱和冷卻的下腔和一個用於高溫退火的上腔組成。晶片放置在射頻感應線圈上,該線圈用於生成所需的熱剖面。在加熱/冷卻周期中，晶片暴露於惰性氣體（N2、Ar和O2）和重氮甲烷氣體的揮發性流動中，這有助於為晶片的均勻退火創造環境。腔室溫度由控制器腔室調節,通常在500-1200 °C之間,最高精度為± 0.1°C。此外，RTP還支持擴散、氧化和多層金屬化等過程。這臺機器提供了一個高性能的自動化系統，能夠同時處理多達8個晶圓，同時實現短至20-25秒的循環時間。AMAT 0010-22033 RTP的使用具有很大的優勢,因為它能夠在高吞吐量下產生可靠的結果,同時為熱工藝研究和產品開發提供了改進的平臺。其優勢包括優越的空間均勻性、可重復和可控的處理，以及減少了工藝周期時間。此外，其先進的自動化能力，包括材料和氣體輸送，以及晶圓自動處理，減少處理和汙染風險。APPLIED MATERIALS 0010-22033 RTP的這些特性使得它成為廣泛熱處理應用的絕佳選擇，包括半導體器件制造、集成光電器件以及各種納米結構和微加工工藝。散熱處理器還能夠通過多個晶片批次、標準和高級配方以及工藝批次跟蹤提供更高的生產率。