二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ACP Radiance #9399900 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance是一種快速熱處理器，旨在促進半導體和MEMS（微電子機械系統）鑄造應用中晶圓的精確快速熱處理。這種緊湊、自動化的設備提供了對各種材料熱處理的精確控制,其響應時間快、通量高、底板溫度均勻。AMAT ACP Radiance利用兩種不同類型的輻照和溫度控制方法來精確控制基板的溫度。其中包括直接和間接紅外加熱，以及雙/多區氣體控制和輻射快門能力。直接紅外加熱使用來自二極管陣列的準直、輸入到輸出光束，該光束聚焦在樣品表面上，提供快速和均勻的加熱。間接紅外利用反射器系統和黑體源在整個樣品中保持均勻的熱輪廓。APPLIED MATERIALS ACP Radiance的氣體控制特性為快速熱處理提供了更高水平的溫度控制和過程重復性。該裝置能夠將多種氣體從一個加工室穿梭到基板上，從而產生不同的氣體濃度和流速。此功能可為短期和長期過程提供更精確的溫度控制。這款創新的散熱處理器包括先進的冷卻機部件，如熱電偶，用於精確的溫度監測和控制。閉環溫度控制工具可根據資產監控組件的反饋來確保恒定溫度。此功能有助於保持均勻、可重復的處理,並在晶圓上的溫度梯度最小。ACP Radiance模型的設計目的是在不影響工藝質量或材料可靠性的情況下縮短快速熱處理的周期時間。利用直觀的過程控制器和易於使用的圖形軟件界面,AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance易於操作和編程,只需進行最少的幹預或手動調整。這種高度通用的熱處理器適用於一系列半導體和MEMS應用，包括先進的高放大度量（AFM/STM/TEM）成像、晶片碰撞、翻轉芯片鍵合、模具鍵合、MEMS制造等等。AMAT ACP Radiance在快速熱處理過程中提供精確的溫度控制，使用戶可以實現降解水平較低的更一致的加工材料。