二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPN+ Radiance #9263061 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN+Radiance是一種快速熱處理器,專為高級過程控制和可靠、可重復的熱過程而設計。它能夠在室溫和超過1000°C的溫度之間施加均勻的溫度,並且熱處理速度高達1500°C。Radiance設備配備了強大的對流加熱系統，將輻射傳熱（RHT）技術與閉環空氣再循環單元相結合。這允許更快的加熱和冷卻，以實現短循環時間和精確的溫度斜坡速率控制。輻射機還提供卓越的溫度均勻性，具有較低的熱方差和嚴格的溫度控制精度。Radiance工具配備了先進的監控功能。其集成配方管理資產（RMS）為從單晶片到幾百個晶片的批量大小提供了精確的可編程配方。AMAT DPN+Radiance的高級控制軟件允許將來通過軟件下載進行升級,在各種各樣的制造環境中提供可擴展性和靈活性。該模型還可以進行實時實時調整,以實現最佳的熱過程控制。Radiance設備采用堅固、優質的材料,確保高效運行和使用壽命長.它的高大大氣室由高溫不銹鋼構成，內襯陶瓷和石英組件，以達到最佳絕緣效果。其真空密封垂直滑動門為晶片裝卸提供了方便的通道，其氣流系統與快速均勻加熱的晶片紅外輻射法相結合。Radiance單元還提供可選的雙HiPIMS源,以實現卓越的溫度均勻性和可重復性。HiPIMS技術可用於提高溫度均勻性，同時減少鋁層表面的氧化。此外,Radiance機器還包括集成的安全功能,如環境壓力控制和過溫保護,以確保所有部件和人員的安全。APPLICED MATERIALS DPN+Radiance工具使一個可重復和可靠的熱過程能夠在廣泛的制造應用中實現統一的結果。先進的工藝控制功能和可靠的部件可實現最佳、精確的熱響應和高產率。