二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance RTP #293828722 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance RTP是一種具有革命性意義的快速熱處理工具,為先進的半導體制造提供卓越的設備性能和產量。RTP獨特的微波誘導等離子體技術利用射頻（RF）頻率在清潔室級空氣中快速加熱和冷卻晶片而不直接接觸基板，從而最大限度地提高了能量效率。這種方法消除了直接接觸造成汙染的可能性，使AMAT Radiance RTP成為制造多層高精度、高一致性設備的理想工具。APPLIED MATERIALS Radiance RTP提供四種熱處理選項,用於調整低通信互連的熱剖面。這些包括低溫快速熱退火（LT-RTA）、快速熱氮化（RTN）、快速熱氧化（RTO）和快速熱處理（RTP）。每個選項都可以單獨配置和控制,以提供精確的熱控制。RTP還提供了快速晶圓陣列和非易失性內存設備形成的能力。Radiance RTP具有最先進的數字工業控制器,可提供準確性、可重復性和易操作性。這包括對基板溫度、時間和壓力等關鍵參數的實時監控和趨勢。使用AMAT ControlNet軟件可以訪問歷史數據、診斷操作和計劃維護任務。在環境性能方面，AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance RTP提供降低顆粒物水平、最小化廢物產生和零排放處理。晶圓等離子體源發生器還通過提供多余的時鐘速率來提高工藝穩定性和均勻性，這有助於避免晶體損壞並延長設備壽命。AMAT Radiance RTP是先進半導體制造和器件生產的通用工具.它具有快速熱處理功能,可提供高精度和一致性、低汙染風險以及符合最嚴格行業標準的環保性能。APPLICED MATERIALS RADANCE RTP憑借其革命性的微波誘導等離子體技術和最先進的數字工業控制器，是高性能、高產制造的最佳選擇。