二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #293591364 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance是一種快速熱處理器（RTP）,旨在利用快速熱退火方面的最新進展,該過程可快速高效地提高半導體器件的設備性能。AMAT Vantage Radiance提供了超過其他當前可用RTP的高溫處理功能。它結合了高效率的加熱和嚴密控制的熱均勻性，即使在最高溫度下也能達到極佳的均勻性。APPLIED MATERIALS Vantage Radiance的模塊化設計允許最大程度地靈活實施,使用戶能夠自定義過程設定點,並在單個晶圓或群集配置之間進行選擇。設備直觀的用戶界面包括一個易於訪問的編程系統，有多個可編程參數支持一系列條件，包括單晶圓和多晶圓過程。Vantage Radiance有一個獨特的熱控制單元，它提供晶圓級對溫度的精確控制，允許晶體管和LED等設備的優化。該機的溫度控制器設計為快速準確地將晶片帶到設定點，最大限度地減少能耗，最大限度地減少周轉時間。由於工藝時間較短，AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Radiance也適用於一系列金屬化工藝，包括PECVD和ALD膜的沈積。該工具還可以針對特定的金屬化過程進行自定義配置,以最大限度地提高生產率。AMAT Vantage Radiance除了具有快速熱處理能力外，還憑借其內置的清潔功能提供了卓越的抗汙染能力。資產使用高壓清洗、等離子體清洗和臭氧滅菌，在啟動過程之前清除模型中的有機汙染物。APPLICED MATERIALS Vantage Radiance還提供了多種安全功能,包括冷卻和清除系統以及反應熄滅功能,以確保過程安全完成。此外,該設備符合SEMI F47和ISO 14644等標準,為操作提供了額外的安全性。總體而言,Vantage Radiance是一款功能強大、高效且可靠的快速散熱處理器,提供卓越的散熱控制和卓越的工藝效果。其先進的功能和全面的安全協議使其成為滿足各種半導體處理需求的寶貴工具。