二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293706716 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan™是一種快速熱處理器,經過專門設計,可提供最高的熱處理精度和可重復性。這種先進的設備可確保在各種熱處理應用中提供高性能和成本敏感的解決方案。AMAT Vantage Vulcan利用先進的氣體管理技術和高精度運動控制的創新組合，提供最高的溫度均勻性和準確的溫度變化率性能。其高效、低成本的設計使其非常適合各種熱處理需求,包括氧化、氮化、擴散、退火、沈積等。APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan還具有先進的用戶界面,使操作員能夠快速配置和調整其熱過程的參數。Vantage Vulcan提供了最大的靈活性和多功能性,占用空間很小,可以同時執行多個熱過程。它提供最多三個獨立的溫度區，每個溫度區可以在批量或連續處理模式下運行。先進的AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan控制系統通過在晶圓級精確控制溫度來確保最大精度和可重復性。在晶圓級監測級聯溫度點，以確保嚴密的溫度控制，精確的輪廓匹配。AMAT Vantage Vulcan上的定制氣體混合和輸送單元使用氧氣和氮氣的調節氣流，以確保可重復和可預測的沈積。氣體控制機還利用增強的自動氣體輸送到基板，以提高工藝的均勻性。應用材料Vantage Vulcan是滿足各種熱工藝要求的理想解決方案。其先進的設計和技術使其成為任何熱處理應用的可靠解決方案,從而實現了一致的質量和可重復的結果。
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