二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9316452 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan是一款革命性的快速熱處理器（RTP），設計用於先進的半導體加工。AMAT Vantage Vulcan采用了一項正在申請專利的高效技術-All-Gas Pulse Control,該技術可實現熱退火處理的卓越效果,其應用目標範圍從內存到邏輯設備結構。APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan的許多性能優勢都源於采用AMAT專有微波輔助反應蝕刻（MARE）技術。Vantage Vulcan利用MARE實現了比傳統RTP平臺更低的電子束和VUV強度的熱退火處理。這降低了設備因高溫而損壞的風險，並通過確保RTP腔室的維護頻率降低了擁有成本。AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan還提供優於± 3°C精度的基板溫度均勻性,允許精確的熱過程。該平臺還提供了更短的周期時間和更快的冷卻速度,以及預先配置的單晶圓配方的靈活性。此外，與傳統的RTP硬件相比，AMAT Vantage Vulcan為加工室提供了極低的顆粒排放，確保了室內環境的最小化。該平臺提供惰性或活性氣體引入，具有調節氣流的精密控制能力。這為介電和半導體計量應用提供了廣泛的工藝機會。應用材料Vantage Vulcan非常適合加速退火、快速擴散、快速氧化、層狀薄膜顯影等等。堅固但緊湊的單元配有氮氣室、無氨室清洗和氦基溫度控制器，以確保可靠和一致的結果。系統可以串聯或獨立操作，並配有多種配方內存和全內存備份功能。Vantage Vulcan是一個創新的RTP平臺，提供可靠性能和性價比的高融合。