二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9355344 待售

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ID: 9355344
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Rapid Thermal Processor (RTP), 12" 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan快速散熱處理器是一款生產級、獨立、快速的散熱處理器,旨在滿足先進半導體技術的嚴格要求。它能夠在高達1350°C的溫度下註冊15秒或更短的時間。Vulcan由一個存儲模塊組成,該存儲模塊在受控環境中容納快速熱處理器(RTP)。RTP使用聚焦熱以及獲得專利的定向空氣技術,在300 mm以下的晶片上快速提供均勻且可重復的溫度剖面。它旨在滿足許多具有挑戰性的過程要求,例如低EOM、DRAM、SRAM、閃存和其他內存。Vulcan易於操作,可配置為運行多個參數明確的工藝配方,如工藝溫度、坡道速率和基板移動速率。通過AMAT EnGen熱過程控制軟件編寫和監控的配方確保了過程的可重復性和準確性。此外,Vulcan還采用了高度一致和可靠的掃描系統,進一步確保了工藝概況的細節。Vulcan減少了熱循環時間,從而提高了吞吐量和效率。它還提供了多種工藝能力,以滿足各種內存解決方案的苛刻要求,如電荷泵送、摻雜劑擴散、存儲節點制造、熱氧化、低EOM處理和多晶矽摻雜。Vulcan允許清潔室集成,晶圓的快速、高效進出,但所有處理都在機箱內完成。它采用重型材料建造,以確保長期的可靠性。此外,封閉式設計允許以最小的汙染進行自給自足的處理,並有助於有效的廢物和熱量管理。Vulcan是一款非常可靠、高效的快速散熱處理器,其小巧的設計使其成為生產當今高級內存解決方案的理想選擇。它提供統一和可重復的處理,而且極具成本效益,有助於確保長期節約。
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