二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9359551 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan
ID: 9359551
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan是一款快速熱處理器(RTP),旨在允許高精度半導體處理。該工具具有較高的加熱速率和卓越的均勻性,具有優良的無粒子和無粒子操作,符合國際標準和技術性能標準。用於退火、激活等工藝步驟。AMAT Vantage Vulcan由一個密封的腔室組成,用超純氮加壓以消除汙染,為生產優質產品提供穩定的環境。該工藝室包含一個通過紅外燈加熱以達到所需溫度的磁感器。這與壓力控制器相結合,以保持可重復的加熱速率和均勻性。例如,兩區加熱器控制頂部和底部溫度。此外,氣體歧管為有效控制壓力提供了精確的流量控制。應用材料Vantage Vulcan通常用於制造復雜的設備,例如LCD、OLED和半導體。該系統能夠精確控制高達1200 °C的溫度,並具有極快的加熱和冷卻速率。它具有內置軟件的實時控制器,可最大程度地控制過程,並具有各種安全功能。它可以配置為容納各種各樣的材料和晶圓尺寸。而且,Vantage Vulcan是一個可靠的系統,允許低粒子撞擊和出色的無粒子操作。該系統有超過30,000個熱循環的保證周期,這意味著無需定期維護即可重復使用。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan具有高精度和精確度,是制造復雜設備的理想解決方案,也是提高生產率和產量的經濟高效的方法。
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