二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9390649 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan是一款快速熱處理器（RTP）,可為各種半導體應用提供快速、準確的結果。這種設備以緊湊的外形設計,具有很高的吞吐量和精確度,是滿足基板加工需求的高效且經濟高效的解決方案。采用300 mm的設計，這種RTP能以比傳統方法快得多的速度提供晶片基板的脈沖退火和尖峰退火。AMAT Vantage Vulcan進行快速熱處理（RTP）以優化晶圓和其他基材的流動和生產。該系統使用強大的加熱和冷卻,以高達1250°C/sec的速度快速加熱和冷卻基板。Vulcan中的淹沒電弧加熱（SAH）允許精確和可重復的處理。這個SAH還提供了高度的均勻性，意味著熱量均勻分布，以一致和有效的方式達到精確的目標溫度。此外，這一單元是緊湊的，浪費極少，並允許統一的過程均勻性。APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan提供了極大的多功能性和靈活性。它允許同時加工多種基材，最多有6種不同的工藝配方。此外，這臺機器對每一層的厚度進行精確的控制，分辨率非常高，為2納米。這種精確度導致了很高的生產率水平,因為不需要重新處理不合適的樣品。VantageVulcan還提供出色的熱均勻性，大大減少了所有基材類型的可重復性變化。這有助於消除過程調整的需要,並有助於提高生產過程中的產量。它還提供了不同反應物來源的選擇，包括H2、N2/O2、Ar/O2等。這使得它適合多種材料和工藝類型，包括先進的金屬氧化物。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan是晶圓和基材加工需求的理想選擇，因為它提供了快速準確的熱處理。它具有優化的設計，提供高吞吐量和最大精度，以及出色的熱均勻性和均勻性。此外，它還具有多種工藝配方和反應物來源，具有極大的多功能性和靈活性。這一工具緊湊、高效，極具成本效益。