二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9398185 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan是一款為先進芯片制造而設計的快速熱處理器（RTP）。它是一種單晶片RTP設備，為各種設備技術提供高溫處理。AMAT Vantage Vulcan可以容納各種晶圓尺寸和基材，專門為積極的加工應用而設計。應用材料Vantage Vulcan在整個加熱過程室中提供均勻的溫度,從而實現精確的溫度控制和晶圓的一致性。它具有專有的前電離和後清除系統，使顆粒沈積最小化，循環吞吐量最大化。Vantage Vulcan包括一個先進的Recipe自動化單元和具有實時數據收集功能的車載監控（OBM），允許用戶快速優化流程。Vulcan的加熱機擁有先進的Pyrometer，可使其達到高達20°C/s的溫度斜坡速率，使其成為最快和最可靠的RTP系統之一。它還包括一個先進的氣體分配工具，提供精確的流量控制和均勻的壓力在整個過程腔室，最大化腔室穩定性和過程精度。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan還提供卓越的穩定性、熱均勻性和可重復性,是先進設備制造的理想選擇。它專為易於安裝和維護而設計,具有快速更換的盒式磁帶、簡化的晶片加載和自動晶片支持功能。該資產還具有很高的能源效率，這要歸功於超導預磁導體和低成本冷卻器單元。總體而言,AMAT Vantage Vulcan是一款高性能、可靠的快速散熱處理器。它提供了卓越的溫度均勻性、循環吞吐量和更快的坡道速率以進行積極的處理,使其成為先進設備制造的理想工具。