二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9284534 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Rapid Thermal Processor是一款先進的熱處理設備,使半導體器件制造商能夠在盡可能快的時間內生產出質量最高的半導體產品。它提供了具有毫秒瞬態控制、精確溫度剖面和復雜氣體輸送選項的熱循環。AMAT Vantage RTP設備是半導體行業最先進的熱處理工具之一。應用材料Vantage RTP利用多個加熱元件在每個加工步驟提供精確的溫度控制。這些加熱元件由輻射熱量的紅外（IR）散熱器和傳遞熱量的熱氣源組成。紅外散熱器和熱氣發生器排列成兩個或三個模塊的陣列，以實現精確的溫度控制。通過紅外散熱器和熱氣源的主動控制來調節熱量，以確保對晶片施加確切的熱量。Vantage RTP還提供進程室通信（PCC）系統，使用戶能夠與設備實時交互。這臺PCC機器通過圖形用戶界面提供對當前溫度曲線、腔室快門運動、溫度報警等參數的直接反饋。此外,該工具還提供自動實時日誌記錄,用於數據挖掘和詳細的後期處理。這使用戶能夠回顧流程數據並根據需要進行流程調整。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage RTP具有微型處理器,具有一整套功能,可精確控制散熱特性,同時仍允許處理靈活性。例如，AMAT Vantage RTP具有多點溫度剖面模式、高速坡道速率模式、低溫烘烤模式和低溫快速熱退火模式。這些用戶可編程的功能使用戶能夠根據自己的特定需求來定制熱量配置文件。應用材料Vantage RTP還包括提供精確溫度控制和大氣成分監測的車載氣體控制資產（GCS）。GCS還允許用戶混合特定氣體混合物和閉環反饋控制，以實現準確的大氣控制。這樣可以確保準確和可重復的處理條件。總體而言,Vantage RTP是一種強大而精密的熱處理模型。它提供精確的溫度控制和用戶可編程的功能,使客戶能夠根據自己的特定需求量身定制熱量配置文件。此外，它的GCS允許用戶監控和控制工藝室內的大氣。這樣可以確保準確和可重復的處理條件。